數字式四探針測試儀技術文章

SZT-4數字式四探針測試儀，是二量程的電阻測量儀器，配以手持式測試頭或座式測試架，可用來測量片狀，柱狀，或塊狀，電阻率在0.01~200歐姆/厘范圍內的半導體材料。(客戶根據不同的要求可以選擇不同的量程，Z小可以測量0.0001Ω Z大可以測量100000Ω,根據電流檔定精度)通過對恒流源的調整，可以對某些測量結果進行修整，例如對普通硅材料的測試結果要乘以0.628的探險頭修正系數，對硅材料薄層擴散和導電薄膜 “方塊電阻“ 的修正系數為4.53等均可通過調正恒流電流加以處理。SZT－4數字式四探針測試儀，體形小巧，操作方便，量程適中，十分適於對重煉回料的分選。
本儀器工作環境條件為：
溫　　度：18℃―25℃
相對濕度：60%－80%
工作室內應無強電場干擾，不與高頻設備共用電源。
二，SZT-4數字式四探針測試儀技術參數
1,測量范圍
電 阻 率:0.01-200Ω-cm
方塊電阻:0.01-200Ω-口
電    阻:0.01-200.0
2,數字電壓表 
(1)量    程:200mV單一量程
(2)誤    差:讀數 ±0.2%±3字
(3)輸入電阻:>10MΩ
3,恒流源
(1)電流輸出:0~10mA連續可調
(2)量    程:1mA, 10mA
(3)誤    差:±0.2%±3字,
4,手持式四探針測試頭
(1)探  針  間  距:1mm
(2)探針機械游移率:±1.0%
(3)探  針  材  料:碳化鎢,φ0.
(4)壓力:Z大 2Kg
5,電源:220V±10%：50Hz
功耗：5W
6，外形尺寸：
7，使用方法：取出儀器平放於桌上，將三芯電源線接入儀器的電源插座中，并接通交流電壓（220V），再將測試探頭的插頭插入相應的插座中，按下電源開關使儀器得電，儀器上的數字電壓表就有讀數顯示，如果面板上的二個功能開關全部處於彈出狀態，則二個開關旁邊的“調整"指示燈和：“1mA"指示燈將被點亮，此時旋轉電流調節旋鈕電壓表讀數就會發生有規則的變化，這說明儀器已經可以正常工作。
下一步就可以跟據測試的須要對電流進行調整。電流調整應該將電流開關放在10mA的位置上。
8，電流調整：
（1）半導體（硅）材料的電阻率測試：在10mA電流量程上將電流調到6.28mA,相當于在10mA電流情況下測得的結果,乘以探頭修正系數0.628。由於恒流源的調整，1mA和10mA是同步的，在`10mA調準以后1mA量程同樣包含有這個修正系數。
（2）半導體（硅）材料薄層擴散，玻璃或塑料的薄導電鍍復層的方塊電阻 測試:在10mA電流量程上將電流調至4.53mA, 測得結果乘以10,就是方塊電阻。
（3）電阻測試：電阻測試不能使用探頭，必須換用帶有鱷魚夾子的四線插頭“電阻測試線"（選配件）。電流調到10mA,電壓表的顯示值就是電阻值，不用修正。
（4）在做好測試前的準備工作之后，取下探頭保護蓋，將探頭壓在被測工件上，使四根探針和工件保持良好接觸，
使用時的注意事項；
（1）保護蓋取下后一定要保存好，用畢仍要蓋好，以防探針損壞。
（2）儀器操作時，應備戴乾燥手套，操作場地，桌椅均應保持乾燥。
（3）在被測材料外形尺寸允許的情況下，建議使用臺式測試架（選購件），可使測試精度和穩定性都會有所提高。
（4）對於被測工件為片狀其厚度<3.49毫米時,還應對測試結果進行厚度修正,修正參數見參數表,附錄`1A和附錄1B 。
（5）附錄2，是對片狀工件外形（園形，矩形）和測量位置的修正參數表。