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Technical articles數字式四探針測試儀使用說明
SZT-1型數字式四探針測試儀是運用四探針測量原理 的多用途綜合測量裝置。它可以測量片狀、快狀半導體材料徑向和軸向電阻率,測量片狀半導體材料的電阻率和擴散層的薄層電阻(方塊電阻),換上特制的四探針測試夾,還可以對金屬導體的低中值電阻進行測量。此外,探針經過特殊加工后,還可以測量薄膜材料電阻率。廣泛于半導體材料、器件廠、高等院校化學物理系、科研單位,對半導體材料的電阻性能測試。
本儀器測試探頭采用寶石導向軸套和高耐磨碳化鎢探針,定位準確,游移率小,使用壽命長。
SZT-1型數字式四探針測試儀技術參數:
1. 測量范圍:
電阻率:10的-4次方~10的3 次方Ω-cm
方塊電阻:10的-3次方 ~10的4 次方Ω/□
電阻:10的-6次方 ~10的5 次方Ω
導電類型鑒別:電阻率范圍 10的-4 次方~10 的3次方Ω—cm
2. 可測半導體材料尺寸
直徑:φ15~100 mm
長度:≤400mm
3. 測量方法:
軸向、斷面均可
4. 顯示方式:31/2,數顯,性、過載自動顯示,小數點、單位自動顯示。
5. 恒流源:
(1) 電流輸出:直流電流0~100 mA連續可調。
(2) 量程:10、100μA、1、10、100mA
(3) 誤差:±0.5%讀數±2個字
6.四探針測試探頭
(1) 探針間距:1mm
(2) 材料:碳化鎢.探針機械游移率:±1.0%
7.電源:220±10% 50Hz或60Hz 功耗:<35W